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关于AERA质量流量计的用途分析了解

       AERA质量流量计是一种重要的流量测量仪表,也是平时测量中运用比较多的测量仪器,能够帮助测量者越好的测量。
       它通常用标准状态下的体积流量来表示,质量流量单位规定为: SCCM --- 标准毫升/分 , SLM --- 标准升/分标准状态指:温度—0℃, 气压—101325Pa(760mm Hg)。因为在标准状态下,气体的密度是一个常数,密度乘以体积流量就等于质量流量,所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。产品在使用过程中,无论工作气体的温度、压力如何变化,它所显示的流量总是标准状态下的体积流量。这是它的主要优点。
       用途和特点:AERA质量流量计用于对气体的质量流量进行测量和控制,它只用于测量气体的质量流量。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 微电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
       它具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定牢靠、工作压力范围宽等特点,,其操作使用方便,,可任意位置安装,,并便于与计算机连接实现自动控制。
2020/04/21 10:30:55 492 次

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