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Delta质量流量计


产品介绍
       DELTA II流量比例计随着DELTA流量比例计的使用,优化工艺结果将变得容易。它可将混合的工艺气体按比例分为两路以增加均匀性等工艺参数。比例可从1:1至1:20。
       使用DELTA流量比例计(FRC)能容易获得要求的工艺性能。FRC用于不同的流量分离设备,如刻蚀、去胶和PECVD工艺设备中,FRC使用户能够将气体或混合气体分送至同一反应室中的两个不同区域。根据气体(或混合气体)及其设定比率,FRC会自动将气体分送到两个不同的出口。
       在新的和已有的工艺设备中使用FRC都很简单。有大量程范围的流量(500sccm到10000sccm)可供选择。由于FRC在工作中保持一个低于大气压的管道压力,因而通常不需要防漏措施。

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