概要
       所谓质量流量计是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，要对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。

技术参数
       型号：SEC-E60、SEC-E70、SEC-E80、SEF-E60、SEF-E70、SEF-E80
       适用气体种类：N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10
       气体接触部材质：SUS316氟化橡胶、磁性不锈钢
       阀门型号：非通电时关闭
       标准流量量程：50/100SLM、200SLM、300/500SLM
       流量控制范围（适于SEC系列）：百分之5〜100FS
       流量测量范围（适于SEF系列）：百分之0〜100FS
       响应速度：1~2秒以内（T98）
       流量精度：正负百分之1~百分之二的FS
       直线性：正负百分之零点五~百分之一的FS
       反复性：正负百分之零点五到百分之一的FS
       工作差压值值（适于SEC系列）：100〜300kPa（d）、200〜350kPa（d）
       使用压力（适于SEF系列）：350kPa（G）以下
       耐压：1MPa以下
       外部泄漏率：1×10-7Pa・m3/s（He）以下，450kPa（G）加压10分钟减压百分之1以内
       使用环境温度：5〜45℃
       流量设定信号：0.25〜5VDC（输入阻抗1MΩ以上）
       流量输出信号：0〜5VDC（负荷大于等于电阻2kΩ）
       驱动电源：＋15VDC ±百分之5 50mA −15VDC ±百分之5 200mA 3.9VA
       标准接头：3/8SWL类型、1/2SWL类型