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SEC-8000高温质量流量计


概要
       质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供要求的流量检测和控制,且在半导体制造制程有使用。

特征
       它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量计。
       适用于高温:150℃烘焙
       清洁类型:接气部全不锈钢构造
       适于MOCVD用金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制

规格
型号 气体接触部材质 阀门类型 标准流量量程 流量控制范围 流量精度 使用温度
SEC-8340SL SUS-316L NO:非通电时:开 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 80~100℃
SEC-8340SM SUS-316L NO:非通电时:开 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 100~120℃
SEC-8440LSL SUS-316L NO:非通电时:开 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 15~35℃
SEC-8450LSL SUS-316L NO:非通电时:开 10/20 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 15~35℃
SEC-8455LSL SUS-316L NO:非通电时:开 30/50 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 15~35℃
SEC-8460LSL SUS-316L NO:非通电时:开 50/100 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 15~35℃
SEC-8440LSM SUS-316L NO:非通电时:开 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 35~60℃
SEC-8450LSM SUS-316L NO:非通电时:开 10/20 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 35~60℃
SEC-8455LSM SUS-316L NO:非通电时:开 30/50 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 35~60℃
SEC-8460LSM SUS-316L NO:非通电时:开 50/100 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 35~60℃
SEC-8440LSH SUS-316L NO:非通电时:开 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 60~80℃
SEC-8450LSH SUS-316L NO:非通电时:开 10/20 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 60~80℃
SEC-8455LSH SUS-316L NO:非通电时:开 30/50 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 60~80℃
SEC-8460LSH SUS-316L NO:非通电时:开 50/100 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 60~80℃
SEC-8440SL SUS-316L NO:非通电时:开 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 80~100℃
SEC-8450SL SUS-316L NO:非通电时:开 3/5/10 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 80~100℃
SEC-8455SL SUS-316L NO:非通电时:开 10/20 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 80~100℃
SEC-8460SL SUS-316L NO:非通电时:开 20/30/50 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 80~100℃
SEC-8440SM SUS-316L NO:非通电时:开 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 100~120℃
SEC-8450SM SUS-316L NO:非通电时:开 3/5/10 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 100~120℃
SEC-8455SM SUS-316L NO:非通电时:开 10/20SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 100~120℃
SEC-8460SM SUS-316L NO:非通电时:开 20/30/50 SLM >2%(满量程) ±1%(满量程) 100~120℃

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