SEC-Z512MGX质量流量计
产品介绍
Z512数字/模拟质量流量计
全流量MR/MG值
N2转换流量
#R01:10SCCM
#R1.5:17.5SCCM
#01:30SCCM
#1.5:55SCCM
#02:100SCCM
#2.5:175SCCM
#03:300SCCM
#3.5:550SCCM
#04:1SLM
#4.5:1.75SLM
#05:3SLM
#5.5:5.5SLM
#06:10SLM
# 6.5:22SLM
# 7:30SLM
# 08:50SLM
阀式
全封闭控制阀的流量
流量测量范围(SEF)
工作温度
响应
线性
可重复性
O:常开;C:常闭
FS≤百分之2
精度:FS±百分之一(FS流率> 百分之二十五25)
温度范围:15到45°C
≤1秒:在全流量范围