产品介绍
       Z512数字/模拟质量流量计
       全流量MR/MG值
       N2转换流量
       #R01：10SCCM
       #R1.5：17.5SCCM
       #01：30SCCM
       #1.5：55SCCM
       #02：100SCCM
       #2.5：175SCCM
       #03：300SCCM
       #3.5：550SCCM
       #04：1SLM
       #4.5：1.75SLM
       #05：3SLM
       #5.5：5.5SLM
       #06：10SLM
       # 6.5：22SLM
       # 7：30SLM
       # 08：50SLM
       阀式
       全封闭控制阀的流量
       流量测量范围（SEF）
       工作温度
       响应
       线性
       可重复性
       O：常开；C：常闭
       FS≤百分之2
       精度：FS±百分之一（FS流率> 百分之二十五25）
       温度范围：15到45°C
       ≤1秒：在全流量范围